Komposisi kimia: biasanya diperbuat daripada zirkonium tulen (Zr) atau aloi zirkonium (seperti aloi zirkonium-hafnium Zr-Hf).
Bentuk struktur: Bentuk biasa termasuk sasaran bulat dan sasaran segi empat tepat.
Ketepatan dimensi: memerlukan ketepatan dimensi tinggi dan kemasan permukaan.
Ketumpatan: Ketumpatan tinggi diperlukan untuk memastikan kestabilan dan kualiti filem semasa sputtering.
Kualiti permukaan: Permukaan hendaklah licin, bebas retak, tanpa liang dan kekotoran yang jelas.
Paparan gambar butiran produk sasaran zirkonium
sasaran percikan logam zr
Harga sasaran zirkonium sputtering
