Komposisi kimia: diperbuat daripada zirkonium tulen (ZR) atau aloi zirkonium (seperti aloi zirkonium-hafnium ZR-HF aloi).
Bentuk struktur: Bentuk umum termasuk sasaran bulat dan sasaran segi empat tepat.
Ketepatan dimensi dan kualiti permukaan: Ketepatan dimensi tinggi dan kemasan permukaan diperlukan. Permukaan harus licin, bebas retak, tanpa liang dan kekotoran yang jelas.
Ketumpatan: Ketumpatan yang tinggi perlu dicapai untuk memastikan kestabilan dan kualiti filem semasa sputtering.
Paparan gambar produk sasaran zirkonium sasaran tinggi
Sasaran zirkonium untuk salutan optik
Sasaran zirkonium berputar
